蚀刻工艺的良率提升依赖对缺陷的精准识别与溯源，智能化检测技术正成为行业刚需。

典型缺陷类型与成因

智能检测技术应用

• AI视觉分拣：深度学习模型识别SEM图像中的缺陷，分类准确率＞99%，检测速度500片/小时。

• 光谱实时监控：OES（光学发射光谱）监测等离子体中的F*（703 nm谱线），动态调整蚀刻终点，过刻蚀率降低至0.1%。