医疗微器件的微型化与功能集成，推动蚀刻技术向生物相容性与超高精度突破，成为微流控芯片、植入式传感器等领域的核心工艺。

微流控芯片的蚀刻创新

• 玻璃微通道加工：采用氢氟酸（HF）气相蚀刻，在0.5 mm厚硼硅玻璃上加工宽50 μm、深200 μm的蛇形通道，表面粗糙度Ra＜0.1 μm，确保细胞培养无残留。

• PDMS模具复刻：通过硅母模干法蚀刻（SF₆/O₂等离子体）形成微结构，复制PDMS芯片用于DNA分离，分离效率提升至95%（传统方法80%）。

植入式医疗器械加工

• 钛合金表面蚀刻：HNO₃/HF混合液蚀刻钛合金骨板，形成5-10 μm多孔结构，促进骨细胞附着，愈合周期缩短30%。

• 可降解镁合金蚀刻：柠檬酸蚀刻液在镁合金血管支架表面加工微凹坑，调控降解速率至0.2 mm/年，避免过早失效。