航空航天器件对极端环境的耐受性需求，催生蚀刻工艺在高温合金、复合材料领域的特殊技术方案。

高温合金精密加工

• Inconel 718蚀刻：H₃PO₄/H₂SO₄混合液（比例3:1）在90℃下蚀刻，速率15 μm/min，用于航空发动机叶片冷却孔加工，孔位精度±5 μm。

• 钛铝复合材料选择性蚀刻：NaOH溶液（浓度30%）蚀刻钛层保留铝结构，实现轻量化支架制造，减重40%。

碳纤维增强复合材料（CFRP）加工

• 激光辅助蚀刻：飞秒激光预处理CFRP表面后，KMnO₄蚀刻液去除树脂基体，暴露碳纤维用于导电连接，电阻降低至5 Ω/cm²。

• 蜂窝结构蚀刻：Al蜂窝芯材通过光刻胶掩膜+FeCl₃蚀刻，形成仿生减震结构，抗冲击性能提升50%。