光伏、锂电等新能源器件的效率提升，高度依赖蚀刻技术对材料表面与结构的精准调控。

PERC太阳能电池背面钝化

• 激光开槽+化学蚀刻：355 nm紫外激光烧蚀氮化硅层后，KOH溶液选择性蚀刻硅形成局部接触孔，电池效率提升至23.5%。

• 黑硅制绒：金属催化化学蚀刻（MCCE）在硅片表面形成纳米级凹坑，反射率从35%降至5%，用于双面光伏组件。

锂电集流体蚀刻优化

• 铜箔表面粗化：H₂SO₄/H₂O₂蚀刻液在6微米铜箔上生成微米级粗糙度，提升负极材料附着力，电池循环寿命增加至2000次。

• 铝箔穿孔蚀刻：干法蚀刻加工直径0.1 mm通孔，增强电解液浸润性，快充性能提升30%。

氢燃料电池双极板加工
石墨双极板采用反应离子蚀刻（RIE）加工0.3 mm宽流道，表面疏水改性后水管理效率提升50%，功率密度达4 kW/L。