五金蚀刻金属预处理阶段

　　板材清洁：使用碱性溶液去除表面油脂

　　酸洗处理：盐酸或硫酸溶液清除氧化层

　　水洗流程：三级逆流漂洗去除残留药剂

　　表面粗化：喷砂或化学研磨增加附着力

　　五金蚀刻图形转移工序

　　涂布作业：辊涂或喷涂光敏抗蚀剂

　　预烘处理：80-100℃烘箱干燥5-8分钟

　　曝光成像：紫外光通过底片照射10-30秒

　　显影操作：碳酸钠溶液溶解未曝光区域

　　坚膜固化：150-180℃热处理20分钟

　　化学蚀刻过程

　　溶液配置：三氯化铁浓度28-42Be'

　　温度控制：保持40-50℃恒温槽

　　喷淋压力：0.2-0.5MPa可调系统

　　时间设定：根据深度要求调整1-15分钟

　　蚀刻监控：实时测量线宽与深度

　　后处理步骤

　　阻蚀层剥离：氢氧化钠溶液浸泡去膜

　　表面钝化：铬酸盐或电解抛光处理

　　尺寸检测：投影仪测量关键尺寸

　　包装存储：真空防氧化包装

　　关键技术参数

　　蚀刻速率：0.01-0.05mm/min

　　侧壁锥度：45±5度标准值

　　最小孔径：板厚1/3可达

　　位置公差：±0.02mm范围

　　设备组成

　　前处理线：脱脂槽-水洗槽-酸洗槽

　　涂布机：精密计量泵控制系统

　　曝光机：平行光紫外光源系统

　　蚀刻机：钛合金喷淋腔体结构

　　检测台：CCD自动对位测量仪

　　工艺控制要点

　　溶液比重每小时检测一次

　　抗蚀剂厚度控制在5-8μm

　　显影时间误差不超过±3秒

　　蚀刻液铜离子含量<25g/L

　　水洗电导率维持在50μS/cm以下