生物医学器件的功能实现依赖蚀刻工艺对生物相容性材料的精密加工，推动诊断与治疗技术革新。

微针阵列贴片加工
可溶解微针采用湿法蚀刻成形。羧甲基纤维素基材通过光刻胶定义针尖结构后，磷酸缓冲溶液选择性腐蚀非保护区域，形成高度200微米的锥形微针。工艺关键在控制溶液渗透速率，确保针尖力学强度与溶解速率的平衡。金属微针阵列则采用钛箔光刻蚀刻工艺，氢氟酸与硝酸混合液实现各向同性腐蚀，针尖曲率半径小于1微米，突破皮肤屏障效率提升50%。

血管支架表面结构化
钴铬合金支架的载药微坑通过光诱导电化学蚀刻加工。紫外光通过掩膜照射支架表面，引发电解液中的局部氧化还原反应，形成深度5微米的规则凹槽。该方法避免机械加工导致的材料疲劳，且可通过调节光照时间精确控制载药量。生物可降解镁合金支架则采用磷酸蚀刻液加工表面多孔结构，孔隙率调控范围达30%-70%，实现降解速率与组织修复速度匹配。

器官芯片微流道制造
PDMS材料的氧等离子体蚀刻是微流道加工主流方案。等离子体中的活性氧原子与PDMS表面反应生成二氧化硅层，通过显影去除未曝光区域形成流道结构。玻璃基器官芯片采用氢氟酸气相蚀刻，通过控制反应室湿度与温度实现1微米级深度精度，确保细胞培养环境的流体力学一致性。