新能源电池的能量密度与安全性提升，与蚀刻工艺对电极材料与集流体的精细化处理密切相关。

锂电负极铜箔处理
电解铜箔的表面粗化通过化学蚀刻实现。硝酸与硫酸的混合溶液在铜箔表面形成微米级凹凸结构，增加活性材料附着力。工艺需精确控制氧化还原电位，避免过腐蚀导致箔材机械强度下降。干法蚀刻技术则用于加工铜箔边缘的绝缘隔离区，通过等离子体去除特定区域的铜层，防止电池内部短路。

燃料电池双极板加工
石墨双极板的流道结构直接影响燃料电池性能。湿法蚀刻采用氢氟酸与硝酸混合溶液，在石墨表面加工出宽度0.2毫米的蛇形流道。各向同性腐蚀特性使流道截面呈圆弧形，降低流体阻力并优化气体分布。金属双极板则采用光刻胶掩膜与酸性蚀刻结合工艺，在钛合金表面形成仿生微结构，提升表面疏水性以增强水管理能力。

固态电池电解质加工
氧化物固态电解质片的通孔阵列通过激光诱导蚀刻成形。飞秒激光在材料表面产生改性层后，氢氟酸溶液选择性腐蚀改性区域，形成直径20微米的锂离子传输通道。该方法避免机械加工导致的边缘裂纹问题，界面接触电阻降低30%。