金属蚀刻是通过化学或物理方法去除材料表面的加工技术。过程中涉及以下参数：

　　蚀刻深度0.05-0.5mm

　　线宽精度±0.02mm

　　最小间距0.1mm

　　蚀刻角度45-90°

　　表面粗糙度Ra0.8-3.2μm

　　生产流程规范

　　基材预处理

　　除油温度50-70℃

　　酸洗时间3-5min

　　水洗电导率≤50μS/cm

　　图形转移

　　曝光能量80-120mJ/cm²

　　显影速度0.8-1.2m/min

　　坚膜温度100-120℃

　　蚀刻加工

　　蚀刻液温度40-50℃

　　传送速度1-3m/min

　　蚀刻因子1.2-1.8

　　后处理

　　中和时间2-3min

　　钝化膜厚0.5-2μm

　　干燥温度60-80℃

　　材料适用性

　　不锈钢系列

　　304不锈钢蚀刻速率0.02-0.05mm/min

　　316不锈钢耐蚀性提高30-40%

　　430不锈钢成本降低20-25%

　　铝合金

　　5052铝合金蚀刻均匀性≥95%

　　6061铝合金尺寸稳定性±0.03mm

　　7075铝合金需特殊蚀刻配方

　　铜合金

　　黄铜蚀刻速度0.03-0.06mm/min

　　紫铜侧蚀控制≤0.05mm

　　铍铜需专用蚀刻液

　　质量检测标准

　　尺寸检测

　　线宽测量误差≤±0.01mm

　　深度测量点距≤10mm

　　轮廓对比度≥70%

　　表面检测

　　缺陷面积≤0.1mm²

　　边缘毛刺高度≤0.02mm

　　表面色差ΔE≤1.5

　　性能测试

　　附着力测试≥4B

　　盐雾测试时间≥240h

　　耐磨测试≥5000次

　　应用技术参数

　　电子行业

　　最小线宽0.05mm

　　位置精度±0.01mm

　　绝缘电阻≥100MΩ

　　汽车行业

　　耐温范围-40℃至120℃

　　振动测试20-2000Hz

　　耐候性测试2000h

　　工业设备

　　抗冲击强度≥50J

　　耐油性测试500h

　　防腐蚀等级C4

　　工艺控制要点

　　环境要求

　　温度控制20±2℃

　　湿度范围45-65%RH

　　洁净度等级10000级

　　设备参数

　　传送带速度偏差≤1%

　　蚀刻液循环量5-10L/min

　　喷淋压力0.2-0.4MPa

　　溶液管理

　　浓度检测频率1次/4h

　　金属离子含量≤50g/L

　　PH值控制范围1.5-2.5