技术定义

　　五金蚀刻是通过化学溶液选择性溶解金属材料的加工方法。适用于厚度0.05-5.0mm的金属板材，加工精度±0.01mm。主要加工材料包括304不锈钢、H62黄铜、1060铝板和SPCC冷轧钢。

　　工艺流程

　　前处理工序

　　脱脂清洗：碱性溶液pH值9-11

　　酸洗活化：硫酸浓度10-15%

　　水洗标准：电导率≤50μS/cm

　　图形制作

　　感光胶涂布厚度：15-25μm

　　曝光能量：60-100mJ/cm²

　　显影时间：45-75秒

　　蚀刻加工

　　三氯化铁浓度：30±2波美度

　　温度控制范围：38-42℃

　　蚀刻速率：0.03-0.08mm/min

　　后处理工序

　　去膜液温度：50±5℃

　　钝化时间：3-5分钟

　　烘干条件：70℃热风循环

　　设备配置

　　蚀刻生产线

　　传送带速度：0.8-1.5m/min

　　溶液槽容量：500-1000L

　　温度控制精度：±0.3℃

　　检测仪器

　　二次元测量仪精度：±1μm

　　粗糙度仪测量范围：Ra0.05-12.5μm

　　膜厚测试仪误差：≤3%

　　技术参数

　　加工能力

　　最小线宽：0.08mm

　　最大深宽比：1:2.5

　　侧壁角度：82-88°

　　质量标准

　　尺寸公差：±0.008mm

　　表面粗糙度：Ra0.3-0.6μm

　　蚀刻均匀性：≥90%

　　应用实例

　　电子元件

　　散热片厚度：0.2-0.8mm

　　EMI屏蔽罩孔径：0.3-1.0mm

　　连接器精度：±0.003mm

　　工业零件

　　滤网开孔率：40-60%

　　编码器片厚度：0.15mm

　　传感器部件公差：±0.005mm

　　技术发展

　　工艺改进

　　蚀刻速率提升15-20%

　　材料损耗降低至8%

　　加工周期缩短25%

　　环保要求

　　废水回用率≥80%

　　化学剂消耗减少35%

　　能耗标准下降18%