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金属蚀刻精度

文章出处:未知 人气:发表时间:2023-07-07 10:12

  金属蚀刻精度

  通常把防蚀层下的水平方向蚀刻宽度A称为蚀刻量,蚀刻量A与蚀刻深度h的比值就是蚀刻率F:

                                                                                       F=A/h

  式中:A为蚀刻量(mm);h为蚀刻深度(mm);F为蚀刻率或蚀刻因素,用以表示不同条件下蚀刻量与蚀刻加工深度之间的关系。

  以上有关圆弧R的大小受蚀刻深度、被蚀刻窗口的Z小宽度与蚀刻深度的比值、腐蚀液的组成、蚀刻方法及材料种类等的影响较大。

  蚀刻量决定了金属蚀刻加工的精度,蚀刻量越小,加工精度越高,适用范围就越宽。反之,加工精度降低,适用范围缩小。蚀刻量的大小主要受金属材料的影响,在常用的几种金属材料中,以铜的蚀刻量Z小,铝的蚀刻量Z大。腐蚀剂的选择、浓度及蚀刻条件也会对金属的蚀刻量产生较大的影响。

  通常情况下,人们都认为蚀刻速度越快蚀刻量越小,其实这种认识并不十分准确,在金属材料和腐蚀液成分一定的情况下,这一认识才是成立的,其Z小蚀刻量也只能达到这一金属材料的理论蚀刻量。有关学者研究表明,选择更为优越的腐蚀剂,虽然蚀刻速度提高并不明显,但的确可以改善金属的蚀刻量。
        

  蚀刻速度和蚀刻量,是金属蚀刻中两个Z关键同时也是Z为重要的参数。蚀刻速度决定了金属蚀刻加工周期的长短,蚀刻速度越快,蚀刻加工周期越短,生产效率越高,反之生产效率降低。但是,蚀刻速度也并非越快越好:

  ①蚀刻速度越快,在单位时间内对金属的蚀刻量就越大,产热量增大,腐蚀液温度变化快,不利于蚀刻速度的恒定;

  ②蚀刻速度太快,对于深度要求很精确的零件加工不易控制;

  ③蚀刻速度越快,经蚀刻后的金属表面质量越低,明显影响蚀刻表面的平滑度和光泽度;

  ④高的蚀刻速度往往都需要高浓度的腐蚀剂浓度、高腐蚀性的化学试剂、高的蚀刻温度等。

  这些因素一则使腐蚀剂成本,同时对抗蚀层的要求,成本增加。再则,高浓度的腐蚀剂和高的蚀刻温度都会增加对环境的污染和对操作人员的危害。在实际应用中,对于那些蚀刻量较大的零件,可以采用“先快后慢”的方法进行。

  所谓“先快后慢”就是先用蚀刻速度较快的腐蚀液进行一次蚀刻,当蚀刻深度接近设计要求值后,再换用蚀刻速度较慢的腐蚀液进行精度蚀刻,这样做虽然增加了工序,但缩短了加工时间,同时又保证了蚀刻精度和表面光泽度。至于快速蚀刻时间的确定,需要根据零件的加工要求而定,一般可以选择总蚀刻量的80%-90%为宜。

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