以下为不锈钢蚀刻加工全流程的详细技术步骤及参数，整合多源工业标准数据：

　　一、表面预处理‌

　　脱脂清洗‌

　　碱性脱脂剂浸泡(浓度8%-10%，温度50-60℃)，时长15-20分钟，彻底清除油污。

　　电解脱脂辅助(电流密度6-8A/dm²，时间3-5分钟)提升清洁效率。

　　氧化层去除‌

　　顽固氧化层使用10%硝酸溶液浸泡5-8分钟。

　　冲洗至中性(电导率≤5μS/cm)，无尘环境烘干。

　　表面粗糙度控制‌

　　机械或电解抛光使表面粗糙度≤Ra0.8μm。

　　二、抗蚀层制备‌

　　涂布工艺选择‌

　　丝网印刷‌：适用线宽≥0.3mm图案，采用300-400目丝网，胶膜厚度20-30μm。

　　光刻工艺‌：精密图案(线宽≥0.05mm)采用旋涂法(转速1200-1500rpm)，胶层厚度5-8μm。

　　预烘固化‌

　　温度80-90℃，时间15-20分钟，胶膜硬度需达4H铅笔标准。

　　三、图形转印‌

　　曝光‌

　　紫外光固化设备控制能量密度80-150mJ/cm²，精密图形需定位精度±0.02mm。

　　显影‌

　　1%-2%碳酸钠溶液(30-35℃)，喷淋压力0.2-0.3MPa，显影时间60-90秒。

　　后固化强化‌

　　110-120℃烘烤30分钟，增强抗蚀层耐酸性。

　　四、化学蚀刻‌

　　参数‌ ‌标准范围‌ ‌控制要求‌

　　蚀刻液配方 FeCl₃ 30%-40% + HCl 5%-8% 比重1.32-1.38

　　温度 40-50℃ 波动≤±2℃

　　喷淋压力 0.15-0.25MPa 均匀覆盖表面

　　传送速度 0.8-1.2m/min 深度误差±0.03mm

　　侧壁角度控制 85°-90° 添加盐酸提升垂直度

　　五、后处理‌

　　中和残留酸液‌

　　5%氢氧化钠或碳酸钠溶液浸泡2-5分钟。

　　去膜‌

　　碱液(40-60g/L NaOH，50-80℃)退除抗蚀层。

　　表面强化‌

　　钝化处理‌：20%硝酸溶液浸泡(室温15-30分钟)形成氧化膜。

　　电解抛光‌：磷酸基电解液，电流密度2-5A/dm²，时间5-10分钟，降低粗糙度30%。

　　喷砂处理‌：石英砂冲击(压力0.4-0.6MPa)增加附着面积。

　　六、质量控制‌

　　尺寸检测‌：激光测厚仪监控蚀刻深度(公差±0.03mm)，工具显微镜校验线宽精度(±0.02mm)。

　　耐蚀测试‌：盐雾试验≥72小时无锈蚀，残留物≤0.1mg/cm²(原子吸收光谱法)。

　　废液再生‌：每立方米蚀刻液处理8-10㎡钢板，比重<1.25时补加新液。

　　特殊工艺要求‌

　　蚀刻网加工：精度±0.01mm，最小丝径0.02mm，锥形滤网需PVD真空镀膜强化。

　　医疗器件：钝化后ΔE色差≤1.5，通过ISO13485认证。

　　此流程集成预处理、图形转印、蚀刻控制及后处理四阶段技术要点，关键参数均源自现行工业标准，覆盖电子元件、医疗器械等精密应用场景。