304不锈钢铬含量18-20%，镍含量8-10.5%。316L不锈钢添加2-3%钼元素，耐点蚀当量PREN≥28。典型蚀刻速率0.015-0.1mm/min，表面粗糙度控制在Ra0.8-3.2μm范围。材料退火状态硬度≤187HB。

　　不锈钢蚀刻工艺流程规范

　　前处理工序

　　碱性脱脂：氢氧化钠浓度5-8%，温度60±5℃

　　酸洗活化：硝酸浓度15-20%，时间30-45秒

　　水洗标准：电导率≤20μS/cm

　　图形转移技术

　　干膜贴附：厚度25-50μm

　　曝光参数：波长365nm，能量80-120mJ/cm²

　　显影控制：碳酸钠溶液1%，时间90-150秒

　　化学蚀刻工艺

　　蚀刻液配方：三氯化铁38-42Be'

　　温度控制：45±2℃

　　时间计算：深度/蚀刻速率×1.2

　　后处理流程

　　去膜工序：氢氧化钠溶液4-6%

　　钝化处理：硝酸浓度20-25%，温度50℃

　　最终检测：白光干涉仪测量表面形貌

　　设备技术指标

　　蚀刻主机系统

　　槽体尺寸：2000×1200×800mm

　　加热功率：18kW/槽

　　循环流量：5-8m³/h

　　辅助装置

　　喷淋压力：0.4-0.6MPa

　　温控精度：±0.3℃

　　废气处理：NaOH喷淋+活性炭吸附

　　检测仪器

　　三坐标测量机：精度±1.5μm

　　轮廓仪：测量范围±500μm

　　电子显微镜：放大倍数50-10000X

　　质量控制标准

　　尺寸公差

　　普通级：±0.05mm

　　精密级：±0.02mm

　　高精密：±0.01mm

　　性能测试

　　盐雾试验：按GB/T10125执行

　　附着力测试：ASTM D3359标准

　　金相检验：GB/T 13298规范

　　典型应用领域

　　电子元器件

　　引线框架

　　金属掩模板

　　接插件端子

　　精密器械

　　医疗手术工具

　　光学仪器部件

　　微型传感器

　　工业装备

　　过滤筛网

　　涡轮叶片

　　热交换器件

　　技术发展路径

　　工艺创新

　　激光诱导蚀刻

　　微弧氧化复合工艺

　　选择性蚀刻技术

　　设备升级

　　智能化控制系统

　　废液再生装置

　　在线监测模块

　　环保改进

　　无铬钝化技术

　　低COD蚀刻液

　　废水零排放系统