不锈钢蚀刻加工技术规范
不锈钢蚀刻加工材料选择标准
适用钢种:304/316/430
厚度范围:0.1-3.0mm
硬度要求:HRB70-90
表面状态:2B/BA/No.4
工艺流程
前处理
脱脂温度40-50℃
酸洗时间3-5min
水洗电阻率≥15MΩ·cm
抗蚀层制作
干膜厚度20-30μm
曝光能量80-120mJ/cm²
显影压力0.2-0.3MPa
蚀刻加工
蚀刻液温度45±2℃
传送速度0.8-1.2m/min
蚀刻因子1.2-1.5
精度控制指标
参数标准值检测方法线宽公差±0.02mm工具显微镜位置精度±0.03mm二次元测量垂直度≤0.5°角度规表面粗糙度Ra0.4-0.8μm轮廓仪
应用领域数据
电子行业
最小线宽0.05mm
蚀刻深度0.1-0.3mm
加工合格率≥98%
装饰行业
图案精度±0.05mm
批量一致性≤3μm
生产周期2-3天
工业零件
最大加工面积600×1500mm
厚度公差±0.01mm
年产能20万件
环保处理系统
废水处理
pH调节范围6-9
重金属含量≤0.5mg/L
排放标准GB8978-2025
废气处理
活性炭吸附效率≥95%
排放浓度≤20mg/m³
监测频率1次/8h
废渣处理
金属回收率≥90%
危废代码HW17
处置资质类别Y31
设备参数
蚀刻机
工作宽度650-1600mm
传动精度±0.01mm
温度控制±1℃
显影机
喷淋压力0.15-0.25MPa
溶液循环量5m³/h
干燥温度60±5℃
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