蚀刻logo基材准备

　　材料选择：304不锈钢/6061铝合金/H62黄铜

　　厚度规格：0.1-3.0mm

　　表面处理：电解抛光至Ra0.05μm

　　前处理工序

　　碱性脱脂：温度55±2℃

　　酸洗活化：盐酸浓度15%

　　水洗标准：电阻率≥15MΩ·cm

　　图形转移

　　光阻厚度：10-15μm

　　曝光参数：365nm波长，100mJ/cm²

　　显影条件：0.8%碳酸钠溶液

　　化学蚀刻

　　蚀刻液：三氯化铁溶液

　　浓度控制：30±2%

　　温度范围：45-50℃

　　时间控制：视深度调整

　　后处理

　　去膜工序：5%氢氧化钠溶液

　　表面钝化：铬酸盐处理

　　烘干温度：80℃/30min

　　技术参数指标

　　项目标准值检测方法线宽精度±0.02mm工具显微镜深度一致性±5%轮廓仪测量边缘垂直度≤2°角度测量仪表面粗糙度Ra0.4μm粗糙度测试仪

　　设备配置要求

　　蚀刻机：传送式结构

　　溶液循环：5-8次/小时

　　过滤精度：1μm

　　温控系统：±0.5℃

　　质量控制要点

　　材料晶向检测

　　掩膜附着力测试

　　蚀刻速率监控

　　尺寸首件检验

　　批量一致性控制

　　应用实例数据

　　电子设备面板：最小线宽0.08mm

　　汽车徽标：厚度1.2mm

　　仪器铭牌：蚀刻深度0.15mm

　　建筑装饰：最大尺寸600mm