化学蚀刻

　　五金蚀刻将金属工件浸入酸性溶液。溶液成分为盐酸15%-25%，硝酸5%-10%，温度控制在40-60℃。浸泡时间根据材料厚度调整，每0.1mm需2-3分钟。取出后立即用清水冲洗，中和液采用5%碳酸钠溶液。该工艺适用于不锈钢、铜合金材料。

　　激光蚀刻

　　使用光纤激光器，波长1064nm，功率范围20W-50W。聚焦光斑直径0.05-0.1mm，扫描速度300-800mm/s。通过数控系统控制路径，深度精度±0.01mm。需配备抽风除尘装置，工作环境湿度需低于60%。适用于硬质合金及精密零件。

　　电解蚀刻

　　采用直流电源，电压6-12V，电流密度2-5A/dm²。电解液为10%氯化钠溶液，电极间距50-100mm。处理时间5-15分钟，需保持溶液循环过滤。完成后用去离子水清洗，烘干温度80-100℃。适合批量加工铝合金部件。

　　光化学蚀刻

　　流程分为五个步骤：

　　基材前处理：脱脂采用碱性清洗剂PH值9-11

　　涂布感光胶：膜厚8-12μm，烘干温度70℃

　　曝光：紫外光强度30mW/cm²，曝光时间40-60秒

　　显影：1%碳酸钠溶液，温度25℃，时间90秒

　　蚀刻：三氯化铁溶液浓度28-32波美度

　　五金蚀刻工艺流程对比

　　参数

　　化学蚀刻

　　激光蚀刻

　　电解蚀刻

　　精度(mm)

　　±0.05

　　±0.01

　　±0.03

　　速度(cm²/min)

　　15-30

　　5-15

　　20-40

　　最小线宽(mm)

　　0.15

　　0.02

　　0.10

　　设备成本(万)

　　5-10

　　15-30

　　8-12

　　质量检测标准

　　尺寸公差：按GB/T1804-m级

　　表面粗糙度：Ra≤1.6μm

　　边缘垂直度：≤5°

　　蚀刻深度偏差：≤±5%设定值

　　表面残留：氯化物含量<0.1mg/dm²