1.目标性。所谓目标性，就是通过某一工艺流程的全过程有一个明确的输出，换句话说要达到某一特定的目的。对于金属蚀刻加工而言，这个目的就是满足其设计图纸对产品的要求，更加具体的说，这些需求包括产品的蚀刻尺寸要求，经蚀刻后的表面粗糙度要求等。
          

　　2.整体性。所谓整体性，是指工艺流程中至少要有两个或两个以上的工序组成。这是因为作为流程而言的工艺流程不能是由一个加工步骤来完成的，同时一个加工步骤也无法在工艺流程中完成流转，至少要两个或两个以上的步骤及其相关活动才能建立起一个基本的结构或者关系，才能进行流转。对于金属蚀刻加工工艺而言，也是由多个工序、各工序的工艺参数、各工序规定的工具及其相关设备组合而成的一个完整的工艺规范统一体，并且相互之间是不可分割的。

　　3.内在性。所谓内在性，是指一个公益流程必须要有其内在的特定内容，也可以说是内容的真实性。这些内容包含于工艺流程的每一个步骤中，以及参与这些步骤的所有操作者的行为过程。

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